9月1日ASML官宣新一代High NA EUV光刻机迈入规模化商用量产,全球四家头部芯片企业已部署10台并投入常态化量产,另有3台在出货调试,累计晶圆曝光达135万片。该设备为2nm及以下先进制程打通关键堵点,支撑AI芯片持续演进。